气体流量控制器(Mass Flow Controller, )是一种能够精确测量并控制气体质量流量的装置。与传统的体积流量控制器相比,MFC不受气体温度、压力变化的影响,能够直接反映气体的真实质量流量,因此在需要高精度气体流量控制的场合中备受青睐。气体质量控制器凭借其高精度、高稳定性、易操作等优点,在分析市场,半导体,化工,电力,冶金,食品等多个行业中发挥着不可替代的作用。
气体质量流量控制器工作原理是基于质量守恒定律和伯努利原理。当气体经过流量控制器时,它会通过一系列精确的流量计算器来测量气体的流量。这些计算器可以使用不同的技术进行测量,如热式、质量流量计或压差式。在测量完气体流量后,流量控制器会根据要求的流量和实际流量之间的差异来调整阀门或其他控制装置的动作。这种调整可以通过反馈控制回路来实现,以确保实际流量与所需流量之间的误差最小化。
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