MFM330 气体质量流量计结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。
MFC330-05S 气体质量流量控制器结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。
MFC330-05E 气体质量流量控制器结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。
MFC300-03D 气体质量流量控制器采用 MEMS 流量传感器,自带温度和压力补偿。具有响应速度快,宽量程比、压损小、体积小巧安装方式灵活的特点。
MFC300-03A 气体质量流量控制器采用 MEMS 流量传感器,自带温度和压力补偿。具有响应速度快,宽量程比、压损小、体积小巧安装方式灵活的特点。
ESMFM-650 皂膜气体流量标准装置,采用高灵敏度红外光电管采样、精密电路控制、微电脑处理、触摸屏操控及显示、多通道测量,显示直观、操控方便、数据准确、测量范围大并可保存多达10W 条以上黑历史测量数据。该仪器广泛用于小气体流量的测量及泄漏率的检测。高配置款内置4 路高精度、高控制稳定性的气体质量流量控制器(MFC),为测量提供高精度、高稳定性的气体输出,使测量更加精度、便捷。
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