自主研发微流量气体流量计MFC330 系列气体质量流量计/控制器，其结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。

平台Alicat气体质量流量计MFC300 系列气体质量流量计/控制器，该系列采用 MEMS 流量传感器，自带温度和压力补偿。具有响应速度快，宽量程比、压损小、体积小巧安装方式灵活的特点。

国产替代高精度气体流量控制器我公司自主研发的 MFC330 气体质量流量控制器（以下简称 MFC330），主要用于对气体的质量流量进行精确测量和控制。采用优质的核心部件、高 性能的处理器芯片、智能的控制算法及简洁直观的操作界面，使气体流量控 制更加精准、稳定和简便，内置温度和压力传感器，采集气路温度、压力值 外，进一步对气体流量控制进行温压补偿

进口平替空气流量控制器MFC330 系列气体质量流量计/控制器，其结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。 被测气体进入后，先通过传感器和旁路分流系统。由传感器实时测量气体流量、高精度比例阀动态响应快速调节气体流量至设定值。测量与调节流量的闭环结构，即使环境温度变化或进出口气压波动，MFC330 依然能够保持稳定的流量控制。

苏州氮气质量流量控制器MFC300 系列气体质量流量计/控制器，该系列采用 MEMS 流量传感器，自带温度和压力补偿。具有响应速度快，宽量程比、压损小、体积小巧安装方式灵活的特点。

热式气体质量流量控制器MFC330 系列气体质量流量计/控制器，其结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。 被测气体进入后，先通过传感器和旁路分流系统。由传感器实时测量气体流量、高精度比例阀动态响应快速调节气体流量至设定值。测量与调节流量的闭环结构，即使环境温度变化或进出口气压波动，MFC330 依然能够保持稳定的流量控制。